محاكاة قدرة الإيقاف الإلكترونية والنووية للأيونات الخفيفة والثقيلة في عنصر السيليكون باستخدام طريقة مونتي كارلو
الشريط الجانبي للمقالة
محتوى المقالة الرئيسي
الملخص
تعد قدرة إيقاف المادة الناتجة عن مرور الجسيمات المشحونة عبرها موضوعًا مهمًا في مجالات العلوم التطبيقية والصناعية. تعرف قدرة الإيقاف على أنها كمية الطاقة التي يفقدها الجسيم لكل وحدة طول من مساره عبر الوسط. يجب أن تتم حساب عملية فقدان الطاقة لجسيم مشحون يمر عبر المادة المستهدفة بدقة عالية من خلال القياسات العملية المباشرة أو محاكاة مونتي كارلو أو من خلال الحسابات النظرية. يقدم هذا البحث نظرة ثاقبة لقوى الإيقاف، والمدى المتوقع، والتشتت الطولي والتشتت الجانبي لأيونات مختلفة (البورون، الإنديوم، الزرنيخ، الأنتيمون والفوسفور) عند طاقات من 10 KeV إلى 10 MeV في المادة الهدف (السيليكون) باستخدام برنامج المحاكاة SRIM. في هذه الدراسة تم اختيار هذه الأيونات لأنها أكثر المنشطات شيوعاً في صناعة أشباه الموصلات السيليكونية. سيتم استخدام نتائج الدراسة الحالية لمزيد من البحث في مجال تطعيم المواد شبه الموصلة بالأيونات الخفيفة والثقيلة.